Aplicaciones críticas de semiconductores
Nuestros sistemas de generación de nitrógeno respaldan los procesos de fabricación de semiconductores más exigentes.
Fabricación de obleas
Nitrógeno de ultra-alta pureza para el procesamiento, la limpieza y la manipulación de obleas para evitar la oxidación y la contaminación durante los pasos críticos de fabricación.
Deposición química de vapor (CVD)
Atmósferas de nitrógeno de alta-pureza para procesos CVD, que garantizan una deposición precisa de películas delgadas sin interferencias de oxígeno ni impurezas.
Grabado con plasma
Atmósferas de nitrógeno controladas para procesos de grabado por plasma, manteniendo una transferencia de patrones precisa y evitando oxidaciones no deseadas.
Soldadura por reflujo
Atmósferas inertes de nitrógeno para soldadura por reflujo en empaque y ensamblaje de chips, reduciendo la oxidación y mejorando la calidad de las uniones de soldadura.
Unión de troqueles
Inyección de nitrógeno durante los procesos de unión de matrices para evitar la oxidación y garantizar una adhesión óptima en las operaciones de envasado de semiconductores.
Presurización de sala limpia
Nitrógeno de alta-pureza para presurización y purga de salas limpias, manteniendo entornos-libres de contaminación, fundamentales para la fabricación de semiconductores.
Por qué elegir la generación de nitrógeno en el sitio-
Elimine las dependencias de la cadena de suministro y reduzca los costos con una producción confiable de nitrógeno-in situ.
Pureza ultra-alta
Logre una pureza del nitrógeno de hasta el 99,9999 % con nuestra avanzada tecnología PSA y sistemas de purificación opcionales, cumpliendo con los estándares más estrictos de la industria de semiconductores.
Reducción de costos
Reduzca los costos de nitrógeno hasta en un 90 % en comparación con el suministro de nitrógeno líquido, con un rápido retorno de la inversión que generalmente se logra en 12-24 meses para operaciones de semiconductores de gran volumen.
Suministro continuo
Elimine las interrupciones en el suministro y los retrasos en las entregas con generación de nitrógeno a pedido las 24 horas del día, los 7 días de la semana-, lo que garantiza una producción ininterrumpida de semiconductores.
Control de Procesos
Mantenga un control preciso sobre la pureza, el caudal y la presión del nitrógeno con sistemas de control avanzados basados en PLC-y monitoreo en tiempo real-.
Mejora de la seguridad
Eliminar los riesgos asociados con la manipulación y almacenamiento de nitrógeno líquido criogénico, mejorando la seguridad laboral en instalaciones de semiconductores.
Escalabilidad
Escale fácilmente la capacidad de producción de nitrógeno a medida que se expanden sus operaciones de fabricación de semiconductores, sin limitaciones de infraestructura.
Especificaciones técnicas
Diseñado para ofrecer precisión y confiabilidad en entornos de fabricación de semiconductores.
Niveles de pureza
- Alta pureza estándar: 99,999% (5N) para aplicaciones generales de semiconductores
- Pureza ultra-alta: 99,9999 % (6 N) para procesos críticos de fabricación de obleas
- Purificación Deoxo opcional para niveles de oxígeno.<0.1 ppm
- Monitoreo continuo de pureza con analizador de oxígeno.
Especificaciones del sistema
- Caudales: 10-2000 Nm³/h (estándar), mayores capacidades disponibles
- Presión de funcionamiento: 4-10 bar(g), personalizable para requisitos específicos
- Punto de rocío: -40 grados a -70 grados (con sistemas de secado opcionales)
- Control basado en PLC-con pantalla táctil HMI y registro de datos
Funciones avanzadas
- Operación automática con mínima supervisión requerida
- Capacidad de diagnóstico y monitoreo remoto
- Tiempo de inicio rápido de 15 a 20 minutos
- Funcionamiento energéticamente-eficiente con bajo consumo de energía
Cumplimiento y estándares
- Fabricación certificada ISO 9001:2015
- Cumple con los estándares SEMI para equipos semiconductores.
- Diseño y materiales compatibles con salas limpias
- Documentación integral y soporte de validación
Además del generador de nitrógeno psa, también producimos generadores de oxígeno VPSA, generadores de oxígeno PSA, tanques de almacenamiento, intercambiadores de calor y otros productos. Si está interesado en los sistemas de nitrógeno psa u otros productos, no dude en enviar un correo electrónico asales@gneeheatex.com. Estaremos muy felices de servirle.
